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Erfahren Sie, wie die schnelle Integration von Anybus CompactCom stabile und großvolumige Einsätze in der Halbleiterfertigung ermöglicht hat.
HF-Stromversorgungen spielen eine zentrale Rolle in der Halbleiterproduktion. Von der Plasmagenerierung über Ätzprozesse bis hin zu Dünnschichtabscheidungsverfahren gewährleisten sie Präzision und hohe Effizienz in der Geräteherstellung. Aufgrund ihrer leistungsstarken Kommunikation und hohen Anpassungsfähigkeit hat sich EtherCAT als weit verbreitetes industrielles Ethernet-Protokoll in der Halbleiterindustrie etabliert.
Daher wird EtherCAT-Technologie heute häufig in der inländischen Herstellung von Dünnschichtabscheidungs- und Ätzanlagen verwendet. Da HF-Stromversorgungen wesentliche Komponenten dieser Maschinen sind, müssen sie mit EtherCAT kompatibel sein und selbst in anspruchsvollen Umgebungen eine stabile und hochwertige Kommunikation ermöglichen.
Nach dem Vergleich mehrerer Produkte entschied sich der Kunde für das Anybus CompactCom 40-Modul (M40). In dieser Konfiguration kommuniziert die Hauptsteuereinheit (MCU) der HF-Stromversorgung über SPI (Serial Peripheral Interface) mit dem Anybus CompactCom, das sämtliche protokollspezifischen Aufgaben übernimmt.
Mit der Unterstützung der technischen Experten von HMS vor Ort schloss der Kunde die Produktentwicklung ab und hatte innerhalb von nur 25 Tagen einen Prototyp fertig. Damit unterstützt die HF-Stromversorgung nun EtherCAT, DeviceNet und PROFIBUS DP – drei gängige Kommunikationsprotokolle in der Halbleiterindustrie.
Neben der Entwicklung von High-End-Geräten müssen Hersteller von Halbleiteranlagen sicherstellen, dass jedes Automatisierungsgerät dem von der EtherCAT Technology Group (ETG) spezifizierten EtherCAT Semiconductor Device Profile entspricht. Anybus CompactCom 40 unterstützt dieses Profil sowohl in der Hardware als auch in der Software und erfüllt die Norm ETG.5003. Dies reduziert Entwicklungsaufwand und Markteinführungszeit erheblich.
Der Kunde arbeitet seit 2022 mit HMS zusammen. HF-Stromversorgungen mit Anybus CompactCom wurden seitdem in großen Stückzahlen erfolgreich in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Diese Produkte – mit Leistungen von wenigen Kilowatt bis hin zu mehreren Dutzend – überzeugen durch stabile Leistung im realen Einsatz und unterstützen die Protokolle EtherCAT, DeviceNet und PROFIBUS DP. Anybus CompactCom hat dem Kunden geholfen, sich einen starken Ruf in der Halbleiterindustrie aufzubauen. Die Jahresproduktion liegt mittlerweile bei über tausend Einheiten.
"Es gibt viele erfolgreiche Anwendungen der Anybus-Lösung in HF-Stromversorgungsprodukten der Halbleiterindustrie. Wir halten ihre Produkte für stabil und zuverlässig. Nachdem wir uns für die Anybus-Lösung entschieden hatten, waren wir überrascht, wie einfach die Entwicklung war – unser Prototyp war in nur 25 Tagen fertig. Diese Geschwindigkeit ist für uns entscheidend für den Markterfolg.“
Weitere Informationen zu den Anybus Embedded-Produkten finden Sie unter:
Land: China
Zeitraum: Seit 2022
Lösung: Netzwerkkonnektivität
Branche: Halbleiter
Produkt: Anybus CompactCom 40 Modul (M40)
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